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一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法

基本信息

申请号 CN202111104757.1 申请日 -
公开（公告）号 CN113921631A 公开（公告）日 2022-01-11
申请公布号 CN113921631A 申请公布日 2022-01-11
分类号 H01L31/048（2014.01）I;H01L31/049（2014.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 许佳辉;张圳;柳翠;袁晓 申请（专利权）人 上海玻纳电子科技有限公司
代理机构 上海顺华专利代理有限责任公司 代理人 李鸿儒
地址 201102上海市闵行区莲花南路2899号3A号楼103室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，包括以下步骤：将支撑基材层所用材料放入到原子层沉积设备中，在支撑基材层的上面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜上层，在支撑基材层的下面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜下层，得到高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材；然后将高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材的一面与耐候氟碳薄膜层材料使用粘结剂进行复合，得到高水蒸气阻隔性的太阳能背板；以市售常规180微米厚的PET基材为例，其水蒸气透过率为1.746g/m2*24h，当在其表面进行双面30纳米厚的氧化铝薄膜沉积后，得到的太阳背板的水蒸气透过率降低到0.005g/m2*24h。