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一种快速聚合酶链式反应用硅基芯片的制造方法

基本信息

申请号 CN202111130236.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113866145A 公开（公告）日 2021-12-31
申请公布号 CN113866145A 申请公布日 2021-12-31
分类号 G01N21/64（2006.01）I;C12M1/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 熊胜虎;袁晓;柳翠;谢毅;肖自力;朱建伟 申请（专利权）人 上海玻纳电子科技有限公司
代理机构 上海申新律师事务所 代理人 党蕾
地址 200092上海市杨浦区鞍山五村14号104室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及核酸检测芯片技术领域，尤其涉及一种快速聚合酶链式反应用硅基芯片的制造方法，于单晶硅晶圆片上沉积氮氧化硅膜；开窗及形成沟道得到预处理的晶圆片，进行湿法刻蚀，湿法刻蚀后的晶圆片具有湿法刻蚀沟道；对湿法刻蚀后的晶圆片进行清洗，采用玻璃盖片对清洗后的晶圆片进行密封键合；对键合后的晶圆片进行切割获得核酸检测芯片。本发明使得聚合酶链式扩增反应的时间大为缩减，且沉积的氮氧化硅膜能够抵抗后续工艺中碱性溶液的腐蚀，并且不需要额外的清洗工艺去除，可以保证玻璃盖片与芯片基材具有足够强度，不会出现剥离现象，还具有减少反射光对荧光测试的干扰问题，提高测试的准确性。