基于有机晶体管氨气传感器芯片及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910170795.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109828015B | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN109828015B | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | G01N27/414 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 石华平;庄昕明;于军胜;陈德林;陈婷婷 | 申请（专利权）人 | 江苏友润微电子有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人 | 陈栋智 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市邗江区西湖镇甘泉生态科技园1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于有机晶体管氨气传感器芯片，传感器芯片从下到上依次为衬底、栅电极、介电层、半导体层、源电极和漏电极，所述介电层为明胶这种天然生物材料，所述半导体层为三明治结构，其中三明治结构的夹心层为明胶与金属离子的混合物，本发明利用明胶这种天然无毒且含量丰富的生物材料，有效杜绝了有毒试剂的使用，同时由于明胶杰出的介电特性，使得有机晶体管氨气传感器芯片实现了低电压驱动，同时由于生物材料中所含的大量的极化基团，提升了有机场效应管的氨气传感响应，同时三明治结构中明胶与金属离子作为夹心层，实现器件对氨气的高稳定性高灵敏高响应探测，可用于氨气传感器中。 |
