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基于有机晶体管的二氧化氮传感器芯片及其制备方法

基本信息

申请号 CN201910170437.2 申请日 -
公开（公告）号 CN109900763B 公开（公告）日 2021-06-25
申请公布号 CN109900763B 申请公布日 2021-06-25
分类号 G01N27/414 分类 测量；测试;
发明人 陈德林;庄昕明;于军胜;石华平;张海民 申请（专利权）人 江苏友润微电子有限公司
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 陈栋智
地址 225000 江苏省扬州市邗江区西湖镇甘泉生态科技园1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种基于有机晶体管二氧化氮传感器芯片及其制备方法，所述有机晶体管从上到下依次为衬底、栅电极、介电层、半导体层、源电极和漏电极，所述介电层为高介电常数的生物材料或者含氟材料，所述半导体层为半导体材料与介电材料的混合物，所述半导体层为通过电场调控双溶剂体系而形成的；本发明通过电场调控双溶剂体系的半导体材料实现了半导体层的定向结晶性，从而提升了传感器芯片的性能及其对二氧化氮的检测能力，双溶剂体系的半导体层是半导体材料与介电材料混合物，一方面保护了电场调控过程中对半导体材料的损害，另一方面混合双溶剂体系更容易形成高度取向性的半导体层，有效地提升了传感器芯片的性能，可用于二氧化氮传感器中。