一种可防止尾气沉积的PECVD用分子泵

基本信息

申请号 CN201921017641.2 申请日 -
公开(公告)号 CN210343849U 公开(公告)日 2020-04-17
申请公布号 CN210343849U 申请公布日 2020-04-17
分类号 F04D29/30;F04D29/70;F04D29/00;C23C16/50;C23C16/54 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 黄达;王宠;黄尚鸿;张士强;刘振辉 申请(专利权)人 上海乐凯新材料科技有限公司
代理机构 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 代理人 李羡民;高锡明
地址 071054 河北省保定市乐凯南大街6号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种可防止尾气沉积的PECVD用分子泵,包括分子泵本体、真空进气管路,在真空进气管路中设置尾气吸附机构,所述尾气吸附机构由箍圈、气路栅格和金属网组成。本实用新型未反应的尾气经过吸附装置时,在其表面继续沉积成固体镀层,从而减少到达分子泵内部的未反应尾气的含量并削弱尾气中的能量,减缓分子泵内壁及涡轮叶片上杂质镀层的沉积速度,能够在一定程度上保护分子泵,延长分子泵的使用周期。