一种芯片检测装置
基本信息
申请号 | CN202021861839.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212780540U | 公开(公告)日 | 2021-03-23 |
申请公布号 | CN212780540U | 申请公布日 | 2021-03-23 |
分类号 | G01N21/84(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 禹乾勋 | 申请(专利权)人 | 深圳市华宇福保半导体有限公司 |
代理机构 | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 李捷 |
地址 | 518000广东省深圳市福田区福保街道福保社区市花路25号利保义生物工程大楼六层B井,E井厂房 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种芯片检测装置,包括承载板和检测装置,承载板的顶部固定有U形架,U形架的底部安装有X轴直线电机,X轴直线电机的输出轴固定连接有Y轴直线电机,Y轴直线电机的输出轴固定连接有气缸,气缸的输出轴固定连接有安装架,安装架内侧阵列式设有若干个吸取装置,安装架上安装有用于纵横双向调节吸取装置的调节装置,承载板的顶部设有放置槽,放置槽内放置有芯片中载盘,此芯片检测装置,吸取装置被X轴和Y轴方向均被等距调节,使待检测芯片移动到正对CCD相机处,通过CCD相机对检测芯片进行拍照检测,该芯片检测装置一次能够检测所有中载盘内的芯片,检测效率比较高。 |
