一种高性能滤光片生产加工工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN202110073748.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112921274A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112921274A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C23C14/10;C23C14/08;C23C14/32;C23C14/02;G02B5/28;B29D11/00 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 增田清志;增田博志;王立新 | 申请（专利权）人 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州圆融专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭珊珊 |
| 地址 | 215501 江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高性能滤光片生产加工工艺方法，包括以下步骤：S1：基板的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；S2：基板的切割处理：采用冲压设备进行冲压成型；S3：镀膜材料的选择：选择氧化硅和氧化钛作为镀膜材料；S4：将基板使用离子风枪进行表面惰性气体除静电吹淋清洁；S5：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；S6：真空蒸镀处理：采用表面真空IAD辅助蒸镀；S7：分光性能检验：采用双光束测定方式对半成品的波长进行测定，将合格产品和不合格产品分类存放。本发明，工艺流程设计精炼高效，生产出的产品滤光性能好，品质稳定。 |
