一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法
基本信息
| 申请号 | CN202011526862.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112710244A | 公开（公告）日 | 2021-04-27 |
| 申请公布号 | CN112710244A | 申请公布日 | 2021-04-27 |
| 分类号 | G01B11/06 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 增田博志;贺力伟 | 申请（专利权）人 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州圆融专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭珊珊 |
| 地址 | 215500 江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法，包括以下步骤：提供彩色滤光片；在彩色滤光片的基板的表面覆盖透明有机薄膜；通过椭圆偏光法测量在参考物体上的薄膜厚度；照明光照射参考物体及测量物体，以获得来自参考物体及测量物体的反射光的各自的光谱强度；基于参考物体上的所述薄膜的所述厚度，计算参考物体的光谱反射系数，并参照参考物体的光谱反射系数获得测量物体的光谱反射系数；根据测量物体的光谱反射系数获得测量物体上的薄膜的厚度。本发明，检测设备简单；且检测精度高。 |
