一种两用双通道树脂滤光片的生产方法
基本信息
| 申请号 | CN202110073543.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112899622A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112899622A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/50;G02B5/20 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 增田清志;增田博志;龚裕 | 申请（专利权）人 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州圆融专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭珊珊 |
| 地址 | 215501 江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种两用双通道树脂滤光片的生产方法，包括以下步骤：S1：基板材料的选择：选择树脂薄膜材料作为基板；S2：镀膜材料的选择：选择高纯度的石英硅环作为低折射率蒸镀物质，选择结晶态高纯度的氧化钛作为高折射率蒸镀物质；S3：将基板和镀膜材料进行表面惰性气体除静电吹淋；S4：镀膜工装夹具的处理：镀膜工装夹具在装夹镀膜基板前进行高温烘烤和离子除静电处理；S5：真空蒸镀处理：将基板一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为20‑40层，形成双通主膜系；将基板另一侧交替蒸镀石英硅环和氧化钛，交替蒸镀的层数为16‑26层，形成短波通。本发明，比玻璃双通滤光片更薄，柔性材料更容易加工成各种形状，且不易破碎。 |
