一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法

基本信息

申请号 CN202110073584.5 申请日 -
公开(公告)号 CN112925054A 公开(公告)日 2021-06-08
申请公布号 CN112925054A 申请公布日 2021-06-08
分类号 G02B5/20;C23C14/24;C23C14/10;C23C14/08 分类 光学;
发明人 增田清志;增田博志;孟庆宣 申请(专利权)人 苏州京浜光电科技股份有限公司
代理机构 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 代理人 郭珊珊
地址 215501 江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多角度低反射红外截止滤光膜的设计方法,包括以下步骤:基底材料的选择;制备高低折射率材料的单层膜;将倒置的膜堆参数导入光学设计软件,调节关键膜层厚度,输入优化条件后,进行多角度低反射红外截止滤光膜优化设计;基底材料的一面先蒸镀粘结层,然后以不同条件交替蒸镀氧化硅层和氧化钛层。本发明,通过2个标准膜堆进行堆叠设计,采用厚膜堆在前,薄膜堆在后,并将靠近基底的前两层高低折射率材料的膜层厚度设置为约1/4光学厚度的薄层,同时在最后添加4层薄层作为干涉层,然后通过软件进一步优化,最终设计0度和30度可见光波段反射显著降低,反射设计余量充足,生产良率高。