一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201911201173.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111638572B | 公开（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申请公布号 | CN111638572B | 申请公布日 | 2021-03-05 |
| 分类号 | G02B5/28(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 杨志民;孟庆宣 | 申请（专利权）人 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 苏州圆融专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郭珊珊 |
| 地址 | 215501江苏省苏州市常熟经济开发区高新技术园柳州路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法，包括基底，所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层，所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层，每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为20‑40层，每一面所述氧化硅层的厚度设置为1300‑2000nm，每一面所述氢化硅层的厚度设置为400‑800nm。本发明，得到滤光片可以使氢化硅的折射率达到控3.8‑4.5，二氧化硅的折射率达到1.4‑1.6，可以满足大角度小偏移的要求；采用的膜系方案，波长定位准确，陡度好；空间层采用高折射率的氢化硅材料，耦合层则用低折射率的二氧化硅材料，这样角度效应引起的偏移量比用低折射率材料要小。 |
