用于微颗粒表面真空镀金属膜的设备专利查询专利号|摘要-满商公司网

用于微颗粒表面真空镀金属膜的设备

基本信息

申请号	CN200520026799.8	申请日	-
公开（公告）号	CN2848872Y	公开（公告）日	2006-12-20
申请公布号	CN2848872Y	申请公布日	2006-12-20
分类号	C23C14/34(2006.01)	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	沈志刚;徐政;俞晓正	申请（专利权）人	国家纳米技术产业化基地
代理机构	天津市三利专利商标代理有限公司	代理人	国家纳米技术产业化基地;北京航空航天大学;深圳微纳超细材料有限公司
地址	300457天津市天津经济技术开发区第四大街80号A2座2层
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及用于微颗粒表面真空镀金属膜的设备，包括真空室、溅射靶架、样品架、样品皿、加热器、观察窗、放气阀、密封圈及真空抽气装置；真空室内上部设置溅射靶架，其下部对应设有样品架，样品架上面设有样品皿，样品架下面设有加热器，真空室还设有观察窗、放气阀、密封圈，设有真空抽气装置通过管路与真空室联通；并对应连接流量计、分子泵和机械泵，同时配置电器控制及冷却循环水系统；其特征是样品架连接设有振动发生器。通过调节样品架的摆动频率和超声波或机械振动发生器的振动功率，让每个微颗粒都充分暴露其表面，显著提高微颗粒表面镀金属膜的纯度、均匀性、致密性和附着力。结构简单、操作简便，无废水废气污染，节能降耗且应用广。