以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法
基本信息
| 申请号 | CN202210335342.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114695659A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114695659A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | H01L45/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 马国坤;何哲;陈大磊;王浩 | 申请（专利权）人 | 湖北大学 |
| 代理机构 | 北京金智普华知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 430062湖北省武汉市武昌区友谊大道368号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种以双氧水为反应物的超临界流体处理氧化铌选通管的方法，包括以下步骤：将氧化铌选通管置于反应腔体内，向反应腔体内加入水和双氧水；向反应腔体内通入超临界二氧化碳流体，控制反应腔体内的压力为2800～3200psi、温度为110～130℃，反应时间为1～2h。本发明的方法，采用超临界二氧化碳流体技术，使用双氧水和去离子水共同作为反应性物质，对已制备好的掺钛氧化铌选通管进行处理，成功降低了器件的OFF态电流，大幅提高了选通比。由于双氧水具有比去离子水更好的氧化性，相比单独使用去离子水作为反应物质，采用双氧水和去离子水共同作为反应性物质可以更好地钝化材料和器件内部以及不同材料界面处的缺陷。 |
