一种用于氩离子束切割的粉末样品的处理方法
基本信息
申请号 | CN201510494030.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN105092897B | 公开(公告)日 | 2017-12-26 |
申请公布号 | CN105092897B | 申请公布日 | 2017-12-26 |
分类号 | G01Q30/20(2010.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张谷一;白琳;程路 | 申请(专利权)人 | 北京泰瑞特检测技术服务有限责任公司 |
代理机构 | 北京轻创知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨立 |
地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥北路乙7号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种用于氩离子束切割的粉末样品的处理方法,包括:树脂与硬化剂混合,得第一混合物,第一混合物与粉末样品混合,得第二混合物,第二混合物置于载玻片上,放真空干燥器内抽真空;取盖玻片一片,将载玻片上的第二混合物刮到盖玻片上,并使第二混合物在盖玻片一侧的边缘处铺成半圆形,再将盖玻片放在温控加热台上固化,得带有第一固化树脂的盖玻片;向带有第一固化树脂的盖玻片上涂满第一混合物,涂抹厚度与盖玻片上第一固化树脂的最高点平齐,再将盖玻片倒扣于硅片上,在温控加热台上固化,盖玻片上涂满的第一混合物固化为第二固化树脂,得包埋样品;将包埋样品端面抛光磨平,露出包埋的粉末样品,即可放入氩离子切割仪中切割。 |
