一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910869345.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110484886B | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN110484886B | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C22C1/04（2006.01）I;C22C19/03（2006.01）I;C22F1/10（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴宇宁;袁志钟;卿海标 | 申请（专利权）人 | 南京达迈科技实业股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 柏尚春 |
| 地址 | 211102江苏省南京市江宁经济开发区殷巷九竹路铺岗街379号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种含微量稀土元素的镍铼合金旋转管状靶材及制备方法，包括按质量百分比计的如下组分：Re 2～5％，Zr 0.02～0.1％，B 0.05～0.1％，Mg 0.01～0.05％以及余量Ni和不可避免的杂质。其制备方法包括真空熔炼、雾化铸锭、烧结、热等静压、热锻、热轧、斜轧穿孔、退火、机加工等工艺。本发明为旋转管状靶材，不仅提高了材料的利用率，且利用热加工与热处理使得靶材组织细化均匀，质量更高；本发明为整体靶材，气体含量低，纯度高，即使用完也可作为返料回炉，节约成本。 |
