一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | PCT/CN2019/108213 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | WO2021046928A1 | 公开（公告）日 | 2021-03-18 |
| 申请公布号 | WO2021046928A1 | 申请公布日 | 2021-03-18 |
| 分类号 | C23C14/35;C22C1/02;C22C19/03;C22F1/10 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | WU, YUNING;吴宇宁;QING, HAIBIAO;卿海标;ZHOU, QIGANG;周其刚 | 申请（专利权）人 | 南京达迈科技实业股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | NANJING RUIZHIBO INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY CO., LTD.;南京睿之博知识产权代理有限公司 |
| 地址 | 379 Pugang ST, Jiangning Economic Development Zone,Nanjing, Jiangsu 211102 CN | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种含微量元素的大管径Ni-V旋转靶材及其制备方法，旋转靶材包括按质量百分比计的如下组分：C 0.01～0.05％，B 0.01～0.08％，Ti 0.001～0.006％，Mg 0.01～0.05％，V 6～8％以及余量Ni和不可避免的杂质。制备步骤依次采用真空熔炼、热锻、机加工、热挤压、酸洗处理、固溶处理、冷轧或镗孔、退火处理、机加工或绑定。本发明在Ni-V的基础上，添加微量的元素C、B、Ti、Mg进行成分优化，降低氧、硫等含量，且能抑制裂纹的萌生，提高靶材的晶界结合力、强度，并细化晶粒，从而提高成材率；通过优选热加工工艺参数，降低了废品率。 |
