一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110763518.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463053A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463053A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;B22F1/00（2006.01）I;B22F3/04（2006.01）I;B22F3/10（2006.01）I;B22F3/17（2006.01）I;B22F3/24（2006.01）I;B22F9/04（2006.01）I;C21D1/30（2006.01）I;C22F1/18（2006.01）I;C22C27/04（2006.01）I;B22F5/12（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴宇宁;卿海标 | 申请（专利权）人 | 南京达迈科技实业股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 常孟 |
| 地址 | 211102江苏省南京市江宁经济开发区殷巷九竹路铺岗街379号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法，旋转靶材原子组成是Mo100‑x‑y‑NizTixAly，且X、Y、Z表示原子组成百分比，10≤X≤40，1≤Y≤20，1≤Z≤18；制备先将钼粉、电解镍粉和钛铝预合金粉末按比例混合，然后进行脱氧提纯处理、进行球磨混合、灌粉振实处理、冷等静压成型、脱模、真空卧式烧结、旋锻处理、退火处理得到钼镍钛铝合金管锭，最后通过机加工切片制成钼镍钛铝合金靶材。本发明制备过程能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小，密度可达到理论值99%以上，能够完全满足目前大尺寸溅射靶材的镀膜要求。z |
