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一种极低残余反射的窄带减反射膜

基本信息

申请号 CN202110002969.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112764135A 公开（公告）日 2021-05-07
申请公布号 CN112764135A 申请公布日 2021-05-07
分类号 G02B1/10(2015.01)I;G02B1/16(2015.01)I;G02B1/116(2015.01)I 分类 -
发明人 金波;艾曼灵;李冰霞;吴江波;顾培夫 申请（专利权）人 杭州科汀光学技术有限公司
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 陈升华
地址 311100浙江省杭州市余杭经济开发区天荷路21号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种极低残余反射的窄带减反射膜，包括基底以及设置在基底上的多层膜。多层膜由依次设置在基底上的导纳匹配膜堆、色散补偿膜和增透膜构成。基底为折射率1.45至1.90的光学玻璃或光学塑料。导纳匹配膜堆层数为7～11层，由Al2O3和TiO2膜交替组成，最后一层为SiO2膜。色散补偿膜亦为SiO2单层膜。增透膜依次由TiO2和MgF2双层膜组成，或对抗静电防尘增透膜依次由TiO2、ITO透明导电膜和MgF2膜组成。ITO透明导电膜为铟锡氧化物膜。多层膜系的极低残余反射的波长域为650～662nm。这种极低残余反射的窄带减反射膜无论对光学系统还是激光系统都有极其重要的应用价值。