一种低应力的多层薄膜滤光片
基本信息
| 申请号 | CN202020617231.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211786204U | 公开（公告）日 | 2020-10-27 |
| 申请公布号 | CN211786204U | 申请公布日 | 2020-10-27 |
| 分类号 | G02B5/28(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 吴江波;刘璐;艾曼灵;金波;郑臻荣;顾培夫 | 申请（专利权）人 | 杭州科汀光学技术有限公司 |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 杭州科汀光学技术有限公司 |
| 地址 | 311100浙江省杭州市余杭经济开发区天荷路21号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种低应力的多层薄膜滤光片，包括基底及设置在基底上的多层薄膜滤光片。基底为3.3硼硅玻璃，多层薄膜滤光片为双半波窄带干涉滤光片，其中心波长为1060nm，总物理膜厚为4800nm。3.3硼硅玻璃的线膨胀系数为3.3×10‑6/度；高、低折射率膜分别为TiO2和SiO2，其线膨胀系数分别为2～2.5×10‑6/度和0.7×10‑6/度。为减小滤光片的结累应力，采用基底加热和离子辅助两种技术。这种低应力的薄膜滤光片可广泛应用于各种光电仪器。 |
