一种绝缘栅双极型晶体管器件结构
基本信息
申请号 | CN201510477924.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106449741A | 公开(公告)日 | 2017-02-22 |
申请公布号 | CN106449741A | 申请公布日 | 2017-02-22 |
分类号 | H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李宇柱 | 申请(专利权)人 | 常州中明半导体技术有限公司 |
代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄智明 |
地址 | 213200 江苏省常州市金坛经济开发区华城路1668号国际工业城 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种绝缘栅双极型晶体管器件结构,顶部包括有源原胞和虚拟原胞,有源原胞由两个相邻的有源沟槽及其相邻半导体层组成,有源原胞的左右两边都是虚拟原胞,虚拟原胞包含虚拟沟槽,虚拟原胞以虚拟沟槽为边界,所有沟槽都至少穿透部分CS层和部分N-漂移层;器件顶部包括三种P型基区,第一种P型基区位于有源原胞区域内,但不存在于两个有源沟槽之间,上面还设有N+发射区和P+接触区,并通过介质层中的窗口和金属发射极相连接;第二种P型基区位于有源原胞区域内的两个有源沟槽之间,并且都是电位悬空的;第三种P型基区位于虚拟原胞区域内。 |
