多孔金属及其制备方法和制造设备

基本信息

申请号 CN202110631300.X 申请日 -
公开(公告)号 CN113355647A 公开(公告)日 2021-09-07
申请公布号 CN113355647A 申请公布日 2021-09-07
分类号 C23C14/56;C23C14/58;C23C14/32 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 黄佳伟;张刚;张帆;徐飞飞;胡磊;贾泽峰;仲勇;房雷 申请(专利权)人 中天超容科技有限公司
代理机构 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 代理人 关雅慧
地址 226463 江苏省南通市如东县河口镇中天路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请提供一种多孔金属及其制备方法和制造设备。多孔金属制备方法包括:准备指定孔隙率的基材,基材移送至第一镀膜室,对基材进行一级真空镀膜,在基材的表面沉积多孔基层,形成第一过程产品;第一过程产品移送至第二镀膜室,对第一过程产品进行二级真空镀膜,在多孔基层表面沉积多孔加强层,烧除基材,形成第二过程产品;第二过程产品移送至第三镀膜室,对第二过程产品进行三级真空镀膜,在多孔加强层的表面沉积一层多孔覆盖层,形成多孔金属产品。上述多孔金属制备方法通过在多孔基材进行多次真空镀膜,并在真空镀膜过程中烧除基材,保证了成品孔隙率及孔径分布,降低了单位制作成本。