一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置
基本信息
| 申请号 | CN202022914536.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213899211U | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN213899211U | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | F04B37/14（2006.01）I;F04B39/00（2006.01）I;F04B39/12（2006.01）I;F04B39/10（2006.01）I | 分类 | 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵; |
| 发明人 | 胡新明 | 申请（专利权）人 | 岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 414003湖南省岳阳市岳阳楼区七里山 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，一腐蚀性气输送管路的出气端与一真空泵的进口连接，一氮气输送管路的出气端与该真空泵的进口连接，一腐蚀性气‑氮气的混合气输送管路的进气端与该真空泵的出口连接。该对真空泵抽吸的腐蚀性气体进行稀释的装置，由于有氮气进入真空泵内，将进入真空泵内的腐蚀性气稀释，氮气属于惰性气体，不具有腐蚀性，从而减小了真空泵的内部零件所受腐蚀，使用寿命得到延长。 |
