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控制高温结晶炉内熔硅结晶速度的水冷却装置

基本信息

申请号 CN02217259.9 申请日 -
公开（公告）号 CN2592657Y 公开（公告）日 2003-12-17
申请公布号 CN2592657Y 申请公布日 2003-12-17
分类号 C30B9/04 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 昌金铭;唐骏;吴建荣 申请（专利权）人 中国科技开发院浙江分院有限公司
代理机构 浙江杭州金通专利事务所有限公司 代理人 陈向群
地址 310012浙江省杭州市文二路218号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于工业高温炉的循环水冷却技术领域，特别是涉及一种控制高温结晶炉内熔硅结晶速度的水冷却装置；它包括单循环水冷却装置和制冷机构，所述单循环水冷却装置由冷却塔、水箱、冷却水分配器、泵和冷却连接管构成，所述冷却水分配器的输出接口和回水接口上设有能与高温结晶炉相连接的冷却连接管，其特征在于所述制冷机构的冷却连接管与坩埚托架相连通。本实用新型能对坩埚和托架部位的温度进行调节，并能在坩埚和托架部位建立稳定的温度场，而且其结构简单、设计合理、使用方便、并具有降低能耗和提高多晶硅锭品质的效果。