一种真空镀膜机的抽气机构
基本信息
| 申请号 | CN201821021883.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208414546U | 公开（公告）日 | 2019-01-22 |
| 申请公布号 | CN208414546U | 申请公布日 | 2019-01-22 |
| 分类号 | C23C14/56 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 施恩;周义飞;莫超超;刘悦洲;孙阳 | 申请（专利权）人 | 爱发科商贸（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海骁象知识产权代理有限公司 | 代理人 | 爱发科商贸（上海）有限公司 |
| 地址 | 201101 上海市闵行区七莘路1000号1幢1-3层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的抽气机构，包括真空镀膜机主体，所述真空镀膜机主体上设有腔室，所述真空镀膜机主体的一侧开设有排气槽，所述排气槽位于腔室的上方，所述排气槽的底部内壁上开设有排气孔，所述排气孔与腔室相连通，所述排气槽的底部内壁上固定安装有多个滑杆，且多个滑杆基于排气孔呈环形设置，多个滑杆上滑动套设有同一个密封垫，所述密封垫的顶部固定安装有环形片，所述环形片滑动套装在多个滑杆上，所述滑杆的顶端固定安装有挡板，所述挡板位于环形片的上方。本实用新型设计合理，结构简单，能够快速的对腔室进行抽真空操作，抽真空完成后能够及时封闭排气孔，防止排气孔处出现漏气现象，方便人们使用。 |
