一种便于基片翻转的真空镀膜机

基本信息

申请号 CN201821030085.8 申请日 -
公开(公告)号 CN208414541U 公开(公告)日 2019-01-22
申请公布号 CN208414541U 申请公布日 2019-01-22
分类号 C23C14/50 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王驰;施恩;沈琪;孙阳;陈志龙 申请(专利权)人 爱发科商贸(上海)有限公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 爱发科商贸(上海)有限公司
地址 201101 上海市闵行区七莘路1000号1幢1-3层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种便于基片翻转的真空镀膜机,包括安装座,安装座的顶部两侧均固定安装有固定架,两个固定架的顶部固定安装有同一个设置为中空结构的真空镀膜机本体,真空镀膜机本体的顶部内壁和底部内壁上均开设有转动槽,且两个转动槽内转动安装有同一个转动柱,转动柱的外侧固定套设有第一锥形齿轮,且转动柱的外侧固定套设有位于第一锥形齿轮上方的基片本体。本实用新型结构简单,操作方便,可以快速方便的对基片本体进行翻转,提高了人们的翻转效率,同时,能够快速方便的对基片本体进行定位,避免在基片本体在翻转的过程中造成基片本体上产品的震动较大,造成产品偏移位置,导致镀膜不良的问题,所以满足了人们的需求。