一种新型玻璃板真空镀膜生产设备

基本信息

申请号 CN201821021850.X 申请日 -
公开(公告)号 CN208414545U 公开(公告)日 2019-01-22
申请公布号 CN208414545U 申请公布日 2019-01-22
分类号 C23C14/56 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 沈琪;施恩;金学峰;莫超超;刘悦洲 申请(专利权)人 爱发科商贸(上海)有限公司
代理机构 上海骁象知识产权代理有限公司 代理人 爱发科商贸(上海)有限公司
地址 201101 上海市闵行区七莘路1000号1幢1-3层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型玻璃板真空镀膜生产设备,包括设备本体,所述设备本体的底部固定安装有两个支撑板,两个支撑板之间设有位于设备本体下方的低温泵,低温泵与设备本体相配合,且低温泵的两侧均固定安装有安装块,两个安装块相互远离的一侧均开设有固定槽,两个支撑板上均开设有滑孔,所述滑孔内滑动安装有滑板,两个滑板分别与两个固定槽相配合,两个滑板相互远离的一侧均固定安装有推动板,两个推动板相互靠近的一侧分别与两个支撑板相互远离的一侧相接触,两个推动板相互靠近的一侧均固定安装有放置块。本实用新型便于对低温泵进行拆卸,便于对低温泵进行维修保养,结构简单,使用方便。