一种MO源瓶支架装置

基本信息

申请号 CN201921330901.1 申请日 -
公开(公告)号 CN210560737U 公开(公告)日 2020-05-19
申请公布号 CN210560737U 申请公布日 2020-05-19
分类号 C23C16/448;C23C16/18 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 施文贞 申请(专利权)人 福州中科光芯科技有限公司
代理机构 福州元创专利商标代理有限公司 代理人 陆帅;蔡学俊
地址 350000 福建省福州市鼓楼区软件大道89号福州软件园E区14号楼4层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种MO源瓶支架装置,包括支架框,支架框上设置有竖直截面形状为“L”字形的MO源瓶支撑座。该MO源瓶支架装置的结构简单,放置方便,采用奥氏体不锈钢结构,随MO源瓶浸泡水中,不需要取出,不易生锈,精致小巧,可放置于水浴槽中间,将新装的MO源瓶紧贴着MO源瓶支撑座的垂直面安装,即可保证MO源瓶垂直不易倾斜,大大改善了MO源瓶倾斜与偏离的问题。