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晶圆重定位方法及其系统

基本信息

申请号 CN201911146167.8 申请日 -
公开（公告）号 CN110927549B 公开（公告）日 2021-11-16
申请公布号 CN110927549B 申请公布日 2021-11-16
分类号 G01R31/26（2014.01）I;G01B11/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 马勇;彭良宝;张伟;门洪达 申请（专利权）人 广西天微电子有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 石慧
地址 542800广西壮族自治区贺州市生态产业园标准厂房三期3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶圆重定位方法，包括获取校准晶圆的第一标记晶粒的坐标和图像校准数据；根据所述校准数据，获取测试晶圆的第一近心焊盘的第一坐标信息；基于所述第一坐标信息，建立测试MAP图坐标系；根据所述校准数据、第一坐标信息和重定位晶圆的第二圆心的坐标，获取重定位晶圆的第二近心焊盘的第二坐标信息；基于所述第二坐标信息，建立重定位MAP图坐标系。本发明通过坐标和图像的双重对准，快速准确地识别标记晶粒、近心焊盘等目标点，进而保证了晶圆实物和MAP坐标系之间的精准对应关系，该精准对应关系进一步提高了晶圆重定位时对准的精确度，从而实现了一种效率高、可靠性好的全自动重新定位对准的晶圆重定位方法及其系统。