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金属膜膜厚量测系统及采用该系统进行膜厚量测的方法

基本信息

申请号 CN201410729392.5 申请日 -
公开（公告）号 CN104390580B 公开（公告）日 2018-06-22
申请公布号 CN104390580B 申请公布日 2018-06-22
分类号 G01B7/06 分类 测量；测试;
发明人 黄仁东 申请（专利权）人 上海华虹（集团）有限公司
代理机构 上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 上海集成电路研发中心有限公司;上海华虹（集团）有限公司
地址 201210 上海市浦东新区张江高斯路497号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种金属膜膜厚量测系统及采用该系统进行膜厚量测的方法，该方法需要特定的金属膜膜厚的量测系统完成的，即将金属膜的厚度通过附加电极板和电源形成电路的方式，形成电容式模型电路等效结构，最终将反映到电容式模型电路等效结构中等效电容电压的变化，使得通过检测等效电容电压的变化来对金属膜厚度的量测成为可能。首先需要对整个膜厚测试系统进行标定,建立不同膜厚和电压的关系，然后再进行未知厚度的金属薄膜进行测量；即其通过采用已知的不同厚度的某金属薄膜样品进行标定，得到该类金属薄膜与电压的关系对照表，进而就能够对该类未知厚度的金属薄膜进行测量。本发明实现了另一种全新的量测手段，技术实现简单，量测精度高。