一种陶瓷盘座
基本信息
| 申请号 | CN201821672760.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209239681U | 公开（公告）日 | 2019-08-13 |
| 申请公布号 | CN209239681U | 申请公布日 | 2019-08-13 |
| 分类号 | B24B7/22;B24B41/06;B24B41/00;H01L21/683;H01L21/687 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘文军 | 申请（专利权）人 | 深圳市匠心智汇科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市匠心智汇科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区坪地街道高桥社区环坪路4号汉坤高新技术产业园厂房B栋整栋、D栋4至5楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种陶瓷盘座，包括基座、陶瓷盘和定位板；所述基座内部开设有气道，所述气道连接有真空泵，所述基座的上表面开设有第一抽气口和第二抽气口，所述第一抽气口与所述气道连接，所述第二抽气口位于所述基座的中心，所述第二抽气口与所述真空泵连接；所述陶瓷盘设置于所述基座的上方；所述定位板设置于所述陶瓷盘的外周，所述基座外周固定有支架，所述支架支撑所述定位板，所述定位板的上表面与所述陶瓷盘的上表面齐平。该陶瓷盘座，将待切割产品放置于陶瓷盘上，并与定位板固定于一起，能够对产品精确定位，在整个切割过程中不会产生摇晃位移等，避免由于抛光液的冲击或装置内其他部件的震动而导致切割误差过大导致产品不良的问题。 |
