一种氧化镓粉末的快速干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN201910069351.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109612227B | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN109612227B | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | F26B11/00(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 董颖男;唐美玲;毕孝国;牛微;唐坚;李珊珊 | 申请（专利权）人 | 沈阳鑫谱晶体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京君泊知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王程远 |
| 地址 | 110136辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氧化镓粉末的快速干燥装置，包括干燥罐，所述干燥罐顶端安装有罐盖，所述泵机进气管一端通过螺纹啮合连接有主三通阀，所述主三通阀一端安装有罐体进气管，所述主三通阀剩余一端安装有连接管，所述连接管一端安装有副三通阀，本发明结构科学合理，使用安全方便，通过主三通阀和副三通阀的调节，使得真空泵先将干燥管内气体抽出，并注入惰性气体，通过惰性气体在腔室内保护氧化镓粉末，减少氧化镓粉末干燥过程中可能混入的杂质，确保氧化镓粉末纯度不会受到外界杂质的污染，同时也保证干燥罐内部气压和外部气压保持平衡，解决了现有的干燥罐长时间保持真空状态，容易出现罐壁损坏的情况。 |
