一种提高三氯氢硅品质的方法
基本信息
| 申请号 | CN202111158816.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113716570A | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN113716570A | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 官健;刘逸枫;罗轩;袁野;钟国俊 | 申请（专利权）人 | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 代理机构 | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 向丹 |
| 地址 | 614000四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种提高三氯氢硅品质的方法，将合成精馏中提纯三氯氢硅时脱重得到的三氯氢硅重组分与四氯化硅产品液混合，依次经树脂吸附柱、反歧化树脂柱后，再作为合成精馏原料循环使用，以控制合成精馏得到的精制三氯氢硅物料中硼含量≤0.06ppb、磷含量为0.2～0.5ppb、有机硅含量为1～4ppm。本发明通过将合成精馏中循环的三氯氢硅重组分与四氯化硅混合，再进行脱硼磷等杂质处理后，再重复用于合成精馏以得到精制三氯氢硅，具有提升精制三氯氢硅及多晶硅产品质量的目的。 |
