用于多晶硅还原炉的冷却系统
基本信息
申请号 | CN202021858185.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213041033U | 公开(公告)日 | 2021-04-23 |
申请公布号 | CN213041033U | 申请公布日 | 2021-04-23 |
分类号 | F27D9/00;F25D17/02 | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 余涛;冉祎;杨成;杨鹏程;刘晓斌 | 申请(专利权)人 | 四川永祥多晶硅有限公司 |
代理机构 | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) | 代理人 | 向丹 |
地址 | 614000 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及用于多晶硅还原炉的冷却系统,属于多晶硅生产中冷却技术领域。包括炉筒冷却水系统和停炉冷却水系统,炉筒冷却水系统包括炉筒冷却水回管、炉筒冷却水发生器和炉筒冷却水进管,停炉冷却水系统包括停炉冷却水回管、停炉冷却水发生器和停炉冷却水进管,炉筒冷却水进管上设置有控制阀Ⅰ,炉筒冷却水回管上设置有控制阀Ⅱ;停炉冷却水进管上设置有控制阀Ⅲ,停炉冷却水回管上设置有控制阀Ⅳ;停炉冷却水进管通过支管与停炉冷却水回管连通,支管上设置有控制阀Ⅴ。根据生产线上的实际需求,进行自由切换,防止炉筒夹套内部出现汽化闪蒸的水锤现象,使设备稳定性更高。 |
