一种细硅粉用三氯氢硅合成炉
基本信息
| 申请号 | CN202021524354.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213037420U | 公开（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申请公布号 | CN213037420U | 申请公布日 | 2021-04-23 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 官健;程茂林 | 申请（专利权）人 | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 代理机构 | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵丽 |
| 地址 | 614000 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种细硅粉用三氯氢硅合成炉，属于多晶硅生产技术领域，包括下封头、反应段和上封头，下封头下端设置有硅粉排放口，下封头一侧设置有进气管，下封头与反应段下端连接处设置有喷嘴组件，反应段包括从下到上依次设置的第一反应段、第二反应段和第三反应段，第一反应段、第二反应段和第三反应段外部均设置冷却夹套，第一反应段上设置有细硅粉进料管，第三反应段上部与上封头固定连接，上封头上设有出气管和安全接口。冷氢化产生的废硅粉，将废硅粉重新利用大大提高了废硅粉的价值。 |
