高纯乙硅烷尾气处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202022167753.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213528099U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213528099U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | B01D53/78;B01D53/38;B01D46/10;B01D53/04;B01D53/26 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 徐昕;俞冬雷;王伟 | 申请（专利权）人 | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 代理机构 | 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李寰 |
| 地址 | 239500 安徽省滁州市全椒县襄河镇儒林路政务中心八号楼717室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种高纯乙硅烷尾气处理装置，包括处理箱，处理箱左端设有进气管，处理箱右端设有出气管，处理箱内左端第一输送管，第一输送管左端与进气管连接，第一输送管内设有过滤板，处理箱内中间设有第二输送管，第二输送管左端与第一输送管右端连接，第二输送管上侧设有输液管，输液管下端连接有喷头，喷头下端伸出第二输送管内，处理箱内右端设有第三输送管，第三输送管左端与第二输送管连接，第三输送管右端与出气管连接，第三输送管内设有吸附板。通过多段输送进行多次处理，提高尾气处理效果，结构简单，使用方便。 |
