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高纯乙硅烷纯化过滤装置

基本信息

申请号 CN202022167724.9 申请日 -
公开（公告）号 CN213528025U 公开（公告）日 2021-06-25
申请公布号 CN213528025U 申请公布日 2021-06-25
分类号 B01D53/04（2006.01）I;C01B33/04（2006.01）I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 郑春宁;王伟;俞冬雷 申请（专利权）人 南京亚格泰新能源材料有限公司
代理机构 南京正联知识产权代理有限公司 代理人 李寰
地址 239500 安徽省滁州市全椒县襄河镇儒林路政务中心八号楼717室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种高纯乙硅烷纯化过滤装置，包括罐体，罐体内中间设有隔板，隔板为圆柱形，隔板外侧与罐体内壁之间上下对称设有外孔板，隔板外侧与罐体之间设有螺旋导向板，螺旋导向板设置在外孔板之间，隔板内侧之间上下对称设有内孔板，外孔板之间填充有活性炭，内孔板之间填充有分子筛，罐体内壁和隔板两侧都设有内腔，内腔内填充有冷却液体，罐体上左侧设有进气管，罐体上中间设有出气管。通过设置隔板将罐体内进行分隔，乙硅烷从进气管进入罐体内，依次通过活性炭和分子筛进行吸附，并且通过填充冷却液体进行冷却，提高吸附效果，结构简单，使用便捷。