光学镀膜多位比较片换位装置及控制方法

基本信息

申请号 CN200710054019.4 申请日 -
公开(公告)号 CN100458469C 公开(公告)日 2009-02-04
申请公布号 CN100458469C 申请公布日 2009-02-04
分类号 G02B1/10(2006.01);G05B19/02(2006.01) 分类 光学;
发明人 张兰;党亚军;陈新;赵升林;杨亚林;菊池和夫 申请(专利权)人 南阳中光学机电装备有限公司
代理机构 郑州联科专利事务所(普通合伙) 代理人 河南中光学集团有限公司;南阳中光学机电装备有限公司
地址 473000河南省南阳市工业路508号河南中光学集团有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种光学镀膜多位比较片换位装置及控制方法。该装置中包括机械换位和自动控制两部分,其中机械换位包括固定在镀膜蒸镀腔的顶部的连接法兰盘,法兰盘的上端装有步进电机,下端装有伸入镀膜蒸镀腔内的工位内筒,筒内设置有比较片换位机构;控制部分包括可编程逻辑控制器、步进电机、驱动器、编码器、显示器、转换电路和工控机,通过比较片换位装置并利用其控制方法,可使镀膜监控系统的比较片能够容纳和切换更多的监控光点,能够实现十几位或几十位比较片的自动换位,同时还可提高比较片的换位速度及准确性,达到提高镀膜效率及膜厚精度的实用效果。