光学镀膜反射率的测量及显示方法
基本信息
| 申请号 | CN200710054020.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN100454045C | 公开（公告）日 | 2009-01-21 |
| 申请公布号 | CN100454045C | 申请公布日 | 2009-01-21 |
| 分类号 | G02B1/10(2006.01);G01M11/02(2006.01);G01N21/55(2006.01) | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 赵升林;孙龙;菊池和夫 | 申请（专利权）人 | 南阳中光学机电装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 河南中光学集团有限公司 |
| 地址 | 473000河南省南阳市工业路508号河南中光学集团有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于光学镀膜监控的光学镀膜反射率的测量及显示方法，它是利用计算机快速准确的数据处理功能，对薄膜蒸镀过程中反射率的变化进行在线测量和实时显示，并依据镀膜曲线峰值或谷值点的反射率值精确地确定蒸镀停止点。使用该方法，可以直观、精确地观察当前膜层蒸镀过程，更加快速地计算峰值点处光学基件的实际折射率和实际蒸镀膜厚，并能准确地确定和控制镀膜的停止点，从而获得高精密度的光学镀件。 |
