光学镀膜膜厚监控装置
基本信息
| 申请号 | CN200720089366.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201015002Y | 公开（公告）日 | 2008-01-30 |
| 申请公布号 | CN201015002Y | 申请公布日 | 2008-01-30 |
| 分类号 | G02B1/10(2006.01);G01B11/06(2006.01);G05B19/048(2006.01) | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 菊池和夫;赵升林;杨育兴;张兰;党亚军 | 申请（专利权）人 | 南阳中光学机电装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所 | 代理人 | 张晓萍 |
| 地址 | 473000河南省南阳市中州路254号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种光学镀膜膜厚监控装置，其投光装置直接与镀膜机的光入射口连接或与分光器、反射镜箱连接用于将投光装置发出的光投射进镀膜机，镀膜机的光出射口连接一光传输部件与分光器的光入射口连接，分光器的光出射口再与光电信号转换装置的光入射口连接，或者镀膜机的出射光线通过反射镜箱将光反射入光电信号转换装置，光电信号转换装置的电信号输出端通过信号处理单元与计算机相连接。本实用新型提高了膜厚监测的稳定性和准确度，满足了高精度镀膜的要求。 |
