单色仪自动控制装置
基本信息
| 申请号 | CN200720089362.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201012934Y | 公开（公告）日 | 2008-01-30 |
| 申请公布号 | CN201012934Y | 申请公布日 | 2008-01-30 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01);G05D5/03(2006.01) | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨育兴;张兰;赵升林 | 申请（专利权）人 | 南阳中光学机电装备有限公司 |
| 代理机构 | 郑州联科专利事务所 | 代理人 | 张晓萍 |
| 地址 | 473000河南省南阳市中州路254号河南中光学集团有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于镀膜监控系统的单色仪自动控制装置。该单色仪具有一个分光箱体，箱体两侧壁上开有光束入射孔和光束出射孔，与入射孔和出射孔对应处装有进光狭缝盘和出光狭缝盘，中部装有分光光栅，在两狭缝盘及分光光栅的转轴上均装有步进电机，并通过设置的控制电路完成步进电机的自动控制。该装置通过对工控机的简单操作，并按照设定的进、出光狭缝尺寸及分光波长值的要求，可使进、出光狭缝盘和分光光栅快速准确的调整到位。与现有技术相比，具有调整快捷、准确，操作简便，工作可靠性强等优点。 |
