首页/ 南阳中光学机电装备有限公司/ 专利详情

光学膜厚在线测量折射率的方法

基本信息

申请号 CN200710054021.1 申请日 -
公开（公告）号 CN100437024C 公开（公告）日 2008-11-26
申请公布号 CN100437024C 申请公布日 2008-11-26
分类号 G01B11/06(2006.01);G01N21/41(2006.01) 分类 测量；测试;
发明人 赵升林;孙龙;菊池和夫 申请（专利权）人 南阳中光学机电装备有限公司
代理机构 郑州联科专利事务所（普通合伙） 代理人 河南中光学集团有限公司;南阳中光学机电装备有限公司
地址 473000河南省南阳市工业路508号河南中光学集团有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种光学膜厚在线测量折射率的方法，该方法利用计算机对膜层的实时折射率进行在线测量，并利用实时折射率值对监控电压信号的理论变化曲线进行修正，当镀膜曲线进行到峰值点或谷值点的时候，自动计算出实时折射率，修正停止点电压值和理论曲线，并将实时折射率显示在屏幕上。从而可以剔除蒸镀过程中各种随机的不可控因素对监控信号的影响，准确地计算和控制蒸镀停止点，同时，可以直观、精确地显示观察蒸镀情况的理论曲线和实际曲线的实时变化，还可以对镀件蒸镀的工艺条件和环境各项因素进行改进和调整，改善光学镀膜人机系统诸要素对镀膜工艺质量的保障水平。