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分子泵抽速测试仪

基本信息

申请号 CN201310201790.5 申请日 -
公开（公告）号 CN104179706B 公开（公告）日 2016-11-30
申请公布号 CN104179706B 申请公布日 2016-11-30
分类号 F04D27/00(2006.01)I 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 郭帅;周旭;苗建朋;池华敬;孟秀清;陈革;章其初 申请（专利权）人 山东亿家能太阳能有限公司
代理机构 北京鼎佳达知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 山东亿家能太阳能有限公司
地址 253000 山东省德州市湖滨北路175号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种分子泵抽速测试仪，包括测试罩和控制器，在所述测试罩上连接有气瓶，所述气瓶向所述测试罩内提供测试气体，在所述气瓶和测试罩之间设有流量控制单元，用于控制并检测由所述气瓶流向所述测试罩内的测试气体的流量，所述流量控制单元由所述控制器控制，在测试罩上还连接有真空计，所述真空计用于监测所述测试罩内的压力数据，所述真空计监测的压力和所述流量控制单元监测的流量分别传输给所述控制器，所述控制器根据所述压力数据和流量数据计算出抽速。本发明具有测试精度高、重复性好、操作简便等优点；使测试效率大大提高。