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一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源

基本信息

申请号	CN202010192687.9	申请日	-
公开（公告）号	CN111366588A	公开（公告）日	2020-07-03
申请公布号	CN111366588A	申请公布日	2020-07-03
分类号	G01N21/95;G01N21/01	分类	测量；测试;
发明人	张祥明	申请（专利权）人	合肥图迅电子科技有限公司
代理机构	北京知联天下知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	合肥图迅电子科技有限公司
地址	230031 安徽省合肥市蜀山区高新区望江西路800号动漫基地C4楼501室
法律状态	-

摘要

本发明提出一种半导体芯片字符表面缺陷管脚缺陷检测光源，包括第一光学组件、第二光学组件和散光板；第一光学组件后端安装有散光板，前端和第二光学组件连接；第一光学组件包括方形光源壳和贴片LED灯，方形光源壳内侧安装有贴片LED灯；第二光学组件包括第一双排LED光源盖、第一双排LED光源、偏光膜、双排LED光源盖偏光夹紧圈、第二双排LED光源盖、转接头和第二双排LED光源；转接头、第二双排LED光源盖、第一双排LED光源盖依次连接；转接头内部嵌有第二双排LED光源；第一双排LED光源盖内部安装有第一双排LED光源、偏光膜和双排LED光源盖偏光夹紧圈。这种光源解决了旧版本三个光源在同轨道叠加问题，在兼容其他多种检测产品情况下达到理想效果，满足检测标准。