小型化质谱仪

基本信息

申请号 CN202020469763.1 申请日 -
公开(公告)号 CN211654766U 公开(公告)日 2020-10-09
申请公布号 CN211654766U 申请公布日 2020-10-09
分类号 H01J49/00(2006.01)I;H01J49/04(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘思雨 申请(专利权)人 昆山聂尔精密仪器有限公司
代理机构 北京欣永瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 昆山聂尔精密仪器有限公司
地址 215300江苏省苏州市昆山市玉山镇紫竹路1689号5号房新一代通信产业园103室
法律状态 -

摘要

摘要 一种小型化质谱仪,包括外壳,外壳的内腔设有泵系统、电控组件及由支架支撑的真空室,真空室内腔通过隔板分成第一真空室和第二真空室,所述隔板上设有锥形孔,所述泵系统由机械泵和分子泵连接组成,所述机械泵与第一真空室连接,所述分子泵与第二真空室连接,所述第一真空室与进样管连通,所述第一真空室后部设有离子传输组件,所述离子传输组件的前、后端分别对着进样管与锥形孔,所述第二真空室内由前向后设有离子导引装置、质量分析器及检测器,所述进样管、离子传输组件、锥形孔、离子导引装置及质量分析器的中心线重合。本实用新型小型化质谱仪结构紧凑小巧,既保证了仪器便携式要求,且有较大的进样量使仪器能实现低丰度样品的分析。