一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110051146.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112885779A | 公开（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申请公布号 | CN112885779A | 申请公布日 | 2021-06-01 |
| 分类号 | H01L21/77;H01L27/12 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴汝健;李建华 | 申请（专利权）人 | 广州易博士管理咨询有限公司 |
| 代理机构 | 成都鱼爪智云知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵晨宇 |
| 地址 | 511458 广东省广州市南沙区丰泽东路106号（自编1号楼）X1301一B5667（集群注册）（JM） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺，涉及显示屏领域。一种低功耗的绿色环保屏的TFT基板制作工艺，包括如下步骤：在玻璃板上形成多晶硅有源层，在上述多晶硅有源层上覆盖栅极绝缘层，将上述栅极绝缘层通过F型离子掺杂形成F型阱，在上述F型阱中通过PMOS轻掺杂注入形成PMOS器件漏轻掺杂结构，对上述PMOS器件漏轻掺杂结构进行掺氮处理，在上述栅极绝缘层上形成第一栅极和源漏极。本发明能够使环保屏更省电，并延长环保屏的使用寿命。 |
