瞬态电压抑制器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811167811.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109300786B8 | 公开（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申请公布号 | CN109300786B8 | 申请公布日 | 2021-12-24 |
| 分类号 | H01L21/329;H01L29/861;H01L29/06 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 程羽佳;于广;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人 | 深圳市南硕明泰科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京中仟知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄照 |
| 地址 | 528400 广东省中山市石岐区学院路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种瞬态电压抑制器及其制作方法，该制作方法通过刻蚀第一导电类型的衬底并形成位于所述衬底内的正向沟槽；在所述正向沟槽内填充介质层；从所述衬底的侧表面刻蚀所述衬底并在所述衬底内形成延伸至所述介质层的侧向沟槽；在所述侧向沟槽内生长第二导电类型的外延层；在所述衬底的上表面和下表面分别覆盖第一金属层和第二金属层，从而形成瞬态电压抑制器。本发明所述制作方法制备得到的瞬态电压抑制器具有双向保护功能，且使用该方法制作瞬态电压抑制器，不仅成本低，而且制作周期短。 |
