一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法
基本信息
| 申请号 | CN202111532272.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114488704A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114488704A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 廉治华;谢军;刘敏;樊廷慧;程卫涛 | 申请（专利权）人 | 西安金百泽电路科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市千纳专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516081广东省惠州市大亚湾区响水河龙山六路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于DMD的光刻机图形拼接误差的检测与修正方法，包括线路图形设计；拼接重叠区域设定；拼接图形设计；线路图形曝光显影；拼接图形曝光显影；重合线条判断；DMD偏移位置判断；DMD位置补偿；上述检测与修正方法，将基准图形和偏移图形分别利用基准DMD和非基准DMD在透明片上的拼接重叠区域内进行曝光，判断非基准DMD曝光的偏移图形与基准DMD曝光的基准图形的重合线条，根据重合线条判断非基准DMD与基准DMD的位置是否有偏移，有偏移则根据线条预设间距值调整非基准DMD的位置，可节省测量时间，提高了检测效率，同时避免受测量仪器的误差影响，以及图形拼接误差测量不精准带来的干扰。 |
