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一种抛光液分流装置

基本信息

申请号 CN201920106425.9 申请日 -
公开（公告）号 CN209364399U 公开（公告）日 2019-09-10
申请公布号 CN209364399U 申请公布日 2019-09-10
分类号 B24B57/02（2006.01）I; B24B57/00（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 张泽芳; 张文娟 申请（专利权）人 临汾博利士纳米材料有限公司
代理机构 北京中政联科专利代理事务所（普通合伙） 代理人 临汾博利士纳米材料有限公司
地址 041500 山西省临汾市襄汾县新城镇赵曲村
法律状态 -

摘要

摘要 一种抛光液分流装置，包括过滤箱体、进液管、拉环、盖板、第一固定板、第二固定板、滤筒、滤孔、电机、转轴、分流管、控制阀、分流板和喷孔；过滤箱体的上端开口处设置有盖板；过滤箱体的顶部侧壁上设置有进料口，进料口处安装有进液管；滤筒位于第一固定板和第二固定板内，并分别与第一固定板和第二固定板转动连接；滤筒的外周面上等间距设置有滤孔；转轴的顶端与滤筒连接，转轴的底端与电机的输出端连接；过滤箱体外周面的底部上均匀设置有多组分流出口；分流管上安装有控制阀；且分流板的底面均匀设置有多组喷孔。本实用新型实现了在对抛光液进行分流时，通过过滤除杂，提高抛光液的质量，使得晶片平整度，晶片表面质量得到提高。