一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液
基本信息
| 申请号 | CN201910968513.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110668451A | 公开（公告）日 | 2020-01-10 |
| 申请公布号 | CN110668451A | 申请公布日 | 2020-01-10 |
| 分类号 | C01B33/145（2006.01）; C09G1/02（2006.01） | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 张泽芳; 张文娟 | 申请（专利权）人 | 临汾博利士纳米材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 临汾博利士纳米材料有限公司 |
| 地址 | 041500 山西省临汾市襄汾县新城镇赵曲村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及化工领域，具体涉及一种二氧化硅溶胶的制备方法及蓝宝石化学机械抛光液。一种二氧化硅溶胶的制备方法包括如下步骤：1)提供聚硅酸，将聚硅酸升温加热后，搅拌下加入碱，得溶液A；2)向所述步骤1)的溶液A中搅拌下加入丙三醇，得溶液B；3)向所述步骤2)的溶液B中搅拌下滴加碱，得二氧化硅溶胶。本发明二氧化硅溶胶为软团聚磨料，在提高抛光速率的同时能有效减少抛光过程中的划伤问题。 |
