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一种红外探测器

基本信息

申请号 CN202010959853.3 申请日 -
公开（公告）号 CN112362170A 公开（公告）日 2021-02-12
申请公布号 CN112362170A 申请公布日 2021-02-12
分类号 G01J5/22(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 蔡光艳;黄立;陈丹;马占锋;汪超;王春水;高健飞 申请（专利权）人 武汉鲲鹏微纳光电有限公司
代理机构 北京汇泽知识产权代理有限公司 代理人 胡建文
地址 430000湖北省武汉市东湖新技术开发区高新三路27号5号楼510室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种红外探测器，包括阵列布置的多个桥面层以及一一对应配置的多个读出电路接口，各读出电路接口均与读出电路连接；还包括多个公共桥腿，每一公共桥腿通过两个上锚柱分别与列向相邻的两个桥面层连接，并且该公共桥腿通过下连接结构分别与对应的两个读出电路接口电连接。本发明通过两个桥面层共用同一个公共桥腿，也即列向相邻的两个像元共用一个公共桥腿，能显著地增大桥腿长度，进而使热导大幅降低，显著地提升探测器的性能；在不影响探测器性能的情况下，可调节公共桥腿的宽度和间距，在机台有效的冗余范围内使得桥腿刻蚀和长膜工艺不受机台偏差的影响，能有效地提高探测器的工艺均匀性、重复性和可控性，提高探测器的产品良率。